ltps技术简介(ltps)
摘要 大家好,我是小典,我来为大家解答以上问题。ltps技术简介,ltps很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、ltps材质是低温多晶硅。2、LT...
大家好,我是小典,我来为大家解答以上问题。ltps技术简介,ltps很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、ltps材质是低温多晶硅。
2、LTPS就是低温多晶硅。低温多晶硅的全称是“Low Temperature Poly-Silicon(LTPS,多晶硅又简称为p-Si,下同)”,它是多晶硅技术的一个分支。对LCD显示器来说,采用多晶硅液晶材料有许多优点,如薄膜电路可以做得更薄更小、功耗更低等等。
3、 在多晶硅技术发展的初期,为了将玻璃基板从非晶硅结构(a-Si)转变为多晶硅结构,就必须借助一道激光退火(Laser Anneal)的高温氧化工序,此时玻璃基板的温度将超过摄氏1000度。普通玻璃在此高温下就会软化熔融,根本无法正常使用,而只有石英玻璃才能够经受这样的高温处理。而石英玻璃不仅价格昂贵且尺寸都较小,无法作为显示器的面板,厂商很自然选择了廉价的非晶硅材料(a-Si)。
4、与传统的高温多晶硅相比,低温多晶硅虽然也需要激光照射工序,但它采用的是准分子激光作为热源,激光经过透射系统后,会产生能量均匀分布的激光束并被投射于非晶硅结构的玻璃基板上,当非晶硅结构的玻璃基板吸收准分子激光的能量后,就会转变成为多晶硅结构。
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