化学气相沉积法cvd（化学气相沉积法）
摘要 大家好，我是小典，我来为大家解答以上问题。化学气相沉积法cvd，化学气相沉积法很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！1、化学气相沉积...
大家好，我是小典，我来为大家解答以上问题。化学气相沉积法cvd，化学气相沉积法很多人还不知道，现在让我们一起来看看吧！
1、化学气相沉积法有哪些反应类型，该法对反应体系有什么要
2、化学气相沉积法是指两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内,然后他们相互之间发生化学反应,形成一种新的材料,沉积到晶片表面上.淀积氮化硅膜(Si3N4)就是一个很好的例子,它是由硅烷和氮反应形成的.
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